真空等離子清洗機主要結(jié)構(gòu)組成

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-05-05

真空等離子清洗機一般使用傳統(tǒng)的電容耦合式等離子清洗機結(jié)構(gòu)，即內(nèi)平行極板。系統(tǒng)由三大部分組成包括真空系統(tǒng)、放電系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。其中放電系統(tǒng)由放電腔體、平行極板、工件支座和電源及匹配網(wǎng)絡(luò)組成，真空系統(tǒng)由真空泵、充氣系統(tǒng)、密封件、閥門、壓強感應(yīng)器組成，真空泵抽取真空并維持反應(yīng)室內(nèi)氣壓平衡，壓強感應(yīng)器測量反應(yīng)時的壓強。反應(yīng)腔體要求反應(yīng)室真空密封同時具備輻射防護。充氣系統(tǒng)由氣管、流量計和閥門組成，目的是定量向反應(yīng)室充入反應(yīng)氣體。電源使用的是固態(tài)射頻電源，具有高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、體積小、重量輕、完善的保護功能可實現(xiàn)過溫、反射功率保護?？刂葡到y(tǒng)可實現(xiàn)電源輸出功率、放電時間、氣路開關(guān)的控制。

等離子清洗機主要結(jié)構(gòu)組成

反應(yīng)倉
采用平板式結(jié)構(gòu),利于等離子體均勻分布。

射頻電源
等離子體發(fā)生器的選擇與其頻率的選擇是確保等離子質(zhì)量和過程靈活性的兩個最重要的參數(shù)。對于清洗中的應(yīng)用,射頻發(fā)生器的頻率是標(biāo)準(zhǔn),它確定能否很好的將氣體激發(fā)為等離子態(tài)。13.56MHz是最常用的頻率。與射頻發(fā)生器相關(guān)聯(lián)的還有匹配網(wǎng)絡(luò),如果阻抗負(fù)載不能精確調(diào)節(jié),射頻發(fā)生器將會被損壞,這是由于承受波的反饋的原因。匹配性的調(diào)節(jié)在獲得好的清洗效果中是必要的。合適的匹配系統(tǒng)與高品質(zhì)的射頻發(fā)生器將會自動調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗,甚至當(dāng)清洗的條件與操作都發(fā)生變化的情況下也能做到。這保證了最佳的等離子體密度和可重復(fù)性。

真空系統(tǒng)
等離子體系統(tǒng)內(nèi)的壓力受幾個因素的影響,其中最重要的一個原因是真空泵。在任何給定的真空系統(tǒng),最大真空度會被真空泵的能力所限制。典型情況下壓力在10～100Pa。

供氣系統(tǒng)
在等離子體過程中為了保證最大的重復(fù)性,需要一些控制氣體流量的裝置,尤其是對反應(yīng)氣體。典型情況為:流量在0～200SCCM。

控制系統(tǒng)
采用帶有觸摸屏人機界面的PLC來控制等離子體電源的各項參數(shù)以及各個輸入輸出設(shè)備,優(yōu)點在于人機界面友好、靈活性高、穩(wěn)定可靠,減少人為產(chǎn)生的失誤。同時便于在不斷的工藝實驗過程中通過軟件來持續(xù)提升設(shè)備性能。對于工藝管理使用配方方式,方便于各個參數(shù)的輸入與管理。

真空等離子清洗機的結(jié)構(gòu)一般由電器控制及操作系統(tǒng)、真空腔室、供氣系統(tǒng)、射頻電源、真空泵、等組成。等離子清洗技術(shù)是利用等離子體中各粒子的能量，通過化學(xué)或物理方式作用于物體表面，改善物體表面狀態(tài)的工藝過程。