關于真空等離子清洗機電極的一些說明

文章出處：本站 | 網站編輯：深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-05-05

真空等離子清洗機一般是在在容性耦合等離子裝置下產生等離子體，電容耦合大多采用內置的平板電極模式，放電時在兩極板上加射頻電源，在兩極板間氣體激發(fā)產生等離子體。電子密度與極板間距成正比例關系，平均電子溫度與極板間距成反比關系，其均勻性與極板間距成正比關系即隨著間距的增大均勻性變好。

電極板在等離子清洗中的作用

打開反應倉，安裝有若干電極板(亦有樣品托盤的作用)。在反應倉的后部安裝有兩個銅電極，其中左邊為負極，右邊為正極。每個電極條上有輸出端與倉體側壁的鋁支撐對應。電極板能夠充當反應電極是建立在其上面的插頭與對應銅電極相連接實現的，電極條選擇插入左邊或者右邊能夠決定該電極架為正極或者為負極。采用正、負電極相間隔放置的模式稱為直接等離子體模式，這種模式的配置下所有的正負離子都會在兩極流通而過且不會被彼此隔離，屬于較強轟擊性的方式。待清洗的物體可放在正極上也可放在負極上，通過實驗也可以發(fā)現當待清洗的物體放在正極上時為較為強烈的清洗(去膠)方式。

電極對等離子清洗效果影響

電極的設計對等離子清洗效果有著顯著的影響，主要包括電極的材料、布局和尺寸等因素。對于內電極等離子清洗系統(tǒng)，由于電極暴露在等離子體中，某些材料的電極會被一些等離子體刻蝕或發(fā)生濺射現象，造成不必要的污染并導致電極尺寸的變動，進而影響等離子清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。電極的布局對等離子清洗的速度和均勻性有較大影響，較小的電極間距能夠將等離子體限制在狹小的區(qū)域從而獲得較高密度的等離子體，實現較快速度的清洗。隨著間距的增加清洗速度逐漸下降但均勻性逐漸增強，電極的尺寸通常決定了等離子系統(tǒng)的整體容量，在電極平行分布的等離子清洗系統(tǒng)中，電極通常作為托盤使用，較大尺寸的電極能夠一次清洗更多的元器件，提高設備的運行效率。

等離子清洗機電極的設計

由上述分析可知，電極本身應盡可能不受等離子體的影響，且間距可調以適應不同應用對等離子體特性的需求，此外，應該在滿足應用條件的基礎上使托盤電極面積最大化。電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負極連通，電極板由兩側的絕緣塊固定在真空腔體中，整個電極系統(tǒng)可跟據不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。同時可以通過增加真空腔體的長寬高來增加托盤的數量和尺寸，提高清洗系統(tǒng)的效率。

等離子清洗機電極的類型一般有水平電極和垂直電極兩種分布形式，不同的分布形式，適用不同的材料進行清洗。